变频分析支持20kHz到1MHz下任一频率的CV特性分析
检测电平范围10mV到2V的宽电平范围可以得到更加稳定且可靠的CV特性曲线
支持各种不同尺寸晶圆（4’&6’&8’&12’），全面支持碳化硅晶圆和硅晶圆
自主开发CRT40电容表具备良好的稳定性和精度
半自动方案以及符合SEMI标准的全自动方案，亦可根据客户的需求做灵活的定制
针对产品痛点以及客户改进建议，SICV设备均作了相应的改进和优化
优势
高速、高精度运控制技术；
快速稳定扫描：电压-电容曲线扫描；
算法框架：消除噪声信号；
特征
根据客户的需求可灵活的定制半自动方案以及符合SEMI标准的全自动方案；
自主开发CRT40电容表具备良好的稳定性和精度；
变频分析支持 20kHz to1MHz；
支持各种不同尺寸晶圆；
